为了提高ITO薄膜的物理性能，对溅射沉积ITO薄膜进行了优化控制。研究了不同溅射沉积条件和热后退火对玻璃基板上透明导电氧化铟锡薄膜物理性能的影响。功率从20到210 W，氩气以20到80 sccm的速率流动。并在真空和...

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