10月31日,华大半导体旗下中电化合物顺利完成客户首批次8吋SiC外延片产品的交付。此次交付标志着企业的外延产品迈上一个新的台阶,为行业提供更为领先的技术支持,推动碳化硅行业更加快速发展。
8吋相比6吋面积增加78%,可较大幅度降低碳化硅器件成本,为进一步推进碳化硅材料的降本增效提供有力支持。技术指标上,8吋SiC外延片厚度均匀性可实现≤3%、掺杂浓度均匀性≤5%、表面致命缺陷≤0.5/cm²。
中电化合物自2019年11月1日成立以来,历时四年,不断实现从0到1的突破,自主研发、生产的6吋碳化硅晶锭、衬底片和外延片早已实现稳定量产。