【查看厂商产品】STM与A*STAR和ULVAC合作建立了世界上第一个“Fab实验室”，以推动压电MEMS
2020-10-29
与A*STAR微电子研究所（IME）和日本制造工具供应商ULVAC合作，专注于压电MEMS技术
首创的概念旨在加速概念验证向量产的转变，并推动压电（压电）MEMS在AR/VR、医疗和3D打印等新应用中的应用
首批晶片预计在2021年第二季度上市，预计2022年底量产。
为电子应用领域的客户提供服务的全球半导体领导者、微电子机械系统（MEMS）技术领域的全球领先者STMicroelectronics（NYSE:STM）宣布与新加坡研究机构a*STAR的IME和日本领先的制造工具供应商ULVAC合作，在新加坡的现有制造工厂内，共同建立和运营一条8英寸（200毫米）的研发线，专注于压电MEMS技术。这是世界上第一条此类研发生产线，它汇集了三个在压电材料、压电MEMS技术和晶圆制造工具方面具有领先优势和互补能力的合作伙伴，以促进创新并加快新材料、工艺技术的开发，最终为工业客户开发产品。
Fab的实验室在ST's Ang Mo Kio园区内设有一个新的洁净室区域，将容纳来自三方的工具和专用资源，其中包括MEMS研发和工艺科学家和工程师。IME在压电MEMS器件设计、工艺集成和系统集成方面的知识库和工业驱动将为生产线的发展增添价值。IME还将提供最先进的工具，帮助确保产品顺利地流向生产，所有这些都在同一地点。新的研发线还将利用现有的ST资源，受益于同一园区内ST晶圆厂的规模经济。“实验室在制造”设施预计在2021年第二季度准备就绪并投入使用，2022年底批量生产。
“我们希望与IME和ULVAC建立世界领先的压电MEMS材料、技术和产品研发中心，我们与他们合作已久。本次全球首场展会将在新加坡举办，新加坡是ST公司的战略要地，”STMicroelectronics公司模拟、MEMS和传感器集团总裁Benedetto Vigna说。“Fab实验室将为我们的客户提供从可行性研究到产品开发和大批量生产的能力。”
这一合作增强了ST Singapore现有的制造工艺组合，并将加速压电MEMS致动器在有前景的新应用领域的应用，包括智能眼镜的MEMS反射镜、AR耳机和激光雷达系统，用于新兴医疗应用的压电微机械超声换能器（PMUT），以及用于商业和工业3-D打印的压电头。
“IME、ST和ULVAC之间的公私合作关系导致了一条独特的研发线的建立，这将带来使用压电材料的新产品，并提升我们合作伙伴的竞争力。这些努力将继续在新加坡开展高价值的研发活动，并表明新加坡仍然是行业领导者创新和发展业务的有吸引力的环境。A*STAR还致力于帮助本地中小企业利用我们的技术。IME执行董事Dim Lee Kwong教授说：“我们欢迎各公司与IME合作，并利用我们在工厂的实验室进行概念验证。”。
我们很自豪能成为ST和IME的“实验室在工厂”的合作伙伴，开发先进的压电MEMS，以满足未来众多应用的需求。这也有力地证明了ULVAC在为压电MEMS行业提供制造技术解决方案方面的领先地位。我们期待着与我们的合作伙伴密切合作，以实现成功的合作，”ULVAC执行官兼高级研究员Koukou SUU博士说。
编者须知
几十年来，压电元件已被广泛应用于制造由压电材料制成的执行器或传感器。在过去的几年里，工艺技术的创新使得MEMS工业能够利用压电薄膜在晶圆级设计和制造产品，为继续小型化、性能改进和降低成本打开了大门。
2019年，ST公司在新加坡庆祝成立50周年，并在新加坡开设了全新的8英寸（200毫米）晶圆制造厂（SG8E），一年后，ST在新加坡成立了“实验室在工厂”
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